Qualifire™

Dựa trên thành công… Giao thoa kế laser Qualifire™ mới của Zygo

Trong hơn 50 năm, giao thoa kế dịch pha đã là công nghệ lựa chọn cho các thiết bị đo hình dạng bề mặt có độ chính xác cao. Các giao thoa kế này cung cấp các phép đo nhanh chóng và đáng tin cậy về lỗi hình dạng bề mặt và mặt sóng truyền qua của các thành phần quang học, hệ thống và cụm lắp ráp. Từ các môi trường nghiên cứu đến nhiều ứng dụng công nghiệp khác nhau, giao thoa kế laser cung cấp mức độ truy xuất dữ liệu cao cho việc đảm bảo chất lượng và phân tích sau sản xuất. Chúng đã trở thành một phần không thể thiếu của quy trình sản xuất.

Qualifire của Zygo đại diện cho một bước tiến vượt bậc trong giao thoa kế laser bằng cách cung cấp các giải pháp cho những thách thức đã biết đối với các thiết bị loại này.

Cách Tiếp Cận Mới Về Giao Thoa Kế Dịch Pha

Phổ biến trong đo lường quang học của nhiều hệ thống hiện đại, thiết kế Fizeau sử dụng một nguồn điểm cố định, đồng trục để chiếu sáng khoang giao thoa. Về cơ bản, nó hoạt động rất tốt. Mặc dù chiếu sáng cố định và dịch pha vẫn là tiêu chuẩn vàng, Zygo luôn tìm kiếm sự cải tiến và đã khám phá lợi ích của chiếu sáng động với tùy chọn Flying Spot mới.

Giao thoa kế laser Qualifire mang lại nhiều tính năng mới và độc đáo.

Flying Spot: Kỹ thuật Giảm Nhiễu Coherent Artifact mới

Tự động lấy nét Khoang phẳng

Zoom ổn định

Phụ kiện thông minh

Qualifire—Hiệu Năng Cao Trong Thiết Kế Tinh Gọn

Qualifire có sẵn với khẩu độ 4 inch hoặc khẩu độ nhỏ nhất trong phân khúc là 6 inch. Một số phiên bản của Qualifire có trọng lượng dưới 50 pound (23 kg), giúp thiết bị này dễ di chuyển hơn—điều này đặc biệt hữu ích khi không thể mang mẫu thử đến thiết bị.

Một lợi thế khác về trọng lượng và không gian là có Khay Đo Pha Nội Bộ (PMR). Điều này loại bỏ nguy cơ hư hỏng các ngăn xếp PZT bên trong PMR khi thiết bị được di chuyển. Các cải tiến khác bao gồm tay cầm dễ nắm và công tắc Bật/Tắt thuận tiện, dễ tiếp cận.

Ngoài ra, chân quang học được bịt kín, cung cấp thêm sự bảo vệ khỏi bụi tích tụ theo thời gian và có thể gây ra nhiễu trong hệ thống. Cách bố trí này cũng giúp việc bảo dưỡng trở nên dễ dàng hơn. Ngay cả laser cũng có thể được thay đổi mà không làm ảnh hưởng đến bất kỳ thành phần quang học nào.

Mọi khía cạnh của Zygo Verifire đã được suy nghĩ lại với trải nghiệm người dùng và sự tự tin trong đo lường để mang đến cho bạn dòng sản phẩm Qualifire mới.

Coherent Artifact Reduction – A Qualifire system with the Flying Spot Module installed gives a level of confidence not seen with other noise reduction systems. By removing coherent spatial noise and annoying coherent bullseye artifacts from the cavity, the Flying Spot gives the best signal to noise for high precision measurements. A Qualifire system with a Flying Spot Module enabled takes the best of Zygo’s patented Ring of Fire and Coherent Artifact Reduction System (CARS) technologies creating a single noise reduction solution.

Plano Cavity Autofocus – For the highest resolution instruments on the market, a precise focus on the surface under test must be achieved. The Flying Spot Module allows for a phase-based autofocus method. This means that a very precise focus can be set on perfectly specular surfaces, without the need for edges, fiducials, reticles, or other physical artifacts necessary for manual or intensity-based focus. In fact, precise focus can be achieved without operator intervention.

Stable Zoom – This novel zoom method provides a stable optical alignment so that there is no shift in focus or image centering from 1X to 3X zoom. Because the optical system is diffraction-limited at all zooms, the Instrument Transfer Function (ITF) is also greatly improved making it easier to quantify mid-to-high spatial frequency features. Because there is no shift in image focus or centering when system magnification is changed, system error subtraction can be maintained for all zooms without loss of fidelity.

Smart Accessories – Using a Zygo Smart Accessory enables Smart Setup features. Smart Setup automatically sets the instrument lateral resolution based on the accessory installed and, for Smart Transmission Spheres, the radius of curvature of the part. Then, an on-board factory calibrated system error map is automatically fit and subtracted from measured data, enabling the best metrology on the market with a reduced setup time.