Khác với các hệ thống WET-EP cỡ lớn được lắp đặt trên mái nhà, hệ thống này được lắp đặt bên trong nhà máy FAB. Nhờ đó, thiết bị giúp loại bỏ bụi mịn (PM) và dễ dàng bảo trì bảo dưỡng. Khi cần bảo trì, hệ thống có thể chuyển sang đường ống Back-up Line mà không ảnh hưởng đến dây chuyền sản xuất chính, giúp tăng sản lượng và ngăn ngừa ô nhiễm không khí.

Đặc điểm nổi bật:

Hệ thống WET-EP cỡ trung từ 5 ~ 200 CMM, được thiết kế đặc biệt phù hợp với không gian bên trong nhà máy sản xuất bán dẫn (FAB).

Khắc phục các vấn đề của hệ thống cỡ lớn đặt trên mái nhà, như:

Thiếu không gian

Khó khăn trong việc lắp đặt do tải trọng

Tắc nghẽn đường ống bên trong FAB

Thiết kế tối ưu với kích thước nhỏ gọn:

Kích thước tiêu chuẩn: 2 m × 2 m × 2 m (áp dụng cho model 5 CMM)

Linh hoạt cho các ứng dụng trong nhà xưởng, không yêu cầu không gian rộng lớn như hệ thống cỡ lớn ngoài trời.

Lĩnh vực ứng dụng:

Ngành điện tử:

Sản xuất bán dẫn (Semiconductor)

Sản xuất màn hình hiển thị (Display)

Ngành năng lượng mặt trời (Solar Industry)

Hệ thống kiểm soát ô nhiễm không khí công nghiệp (Air Pollution Control Systems)

Ngành công nghiệp hóa chất (Chemical Industry)

Các ngành công nghiệp khác:

Luyện kim (Steel)

Xử lý chất thải (Waste Management).