Thiết bị xử lý khí thải Plasma Scrubber được lắp đặt bên trong FAB (xưởng sản xuất bán dẫn), nhằm xử lý các loại khí độc hại phát sinh trong quá trình sản xuất bán dẫn trước khi xả ra môi trường bên ngoài. Thiết bị này có khả năng xử lý khí dễ cháy nổ, khí độc, và khí không độc, đảm bảo an toàn vận hành và giảm thiểu ô nhiễm môi trường.
Thông số kỹ thuật (Ví dụ mẫu: Công suất 600 LPM)
|
Hạng mục |
Thông tin |
|---|---|
|
Công suất xử lý |
600 LPM |
|
Kích thước |
1.000 (Rộng) × 1.000 (Sâu) × 1.900 (Cao) mm |
|
Trọng lượng |
700 kg |
|
Nguồn điện chính |
3 pha, 208Vac, 60Hz |
|
Mức tiêu thụ điện năng |
25kW (ứng với khí CF4 nồng độ 5.000 ppm, hiệu suất xử lý 90%) |
|
Đường nước làm mát (CW) |
3/8 inch, áp suất 3~6 kgf/cm² |
|
Đường nước làm mát chính (PCW) |
1/2 inch, áp suất 4~6 kgf/cm² |
|
Đường khí nén (CDA) |
1/4 inch, áp suất 4~6 kgf/cm² |
|
Cổng vào khí (Gas Inlet Port) |
NW40, 4 cổng (By-pass: NW40, 4 cổng) |
|
Cổng xả khí (Gas Outlet Port) |
125A, 1 cổng |
|
Ứng dụng |
Các quy trình CVD, Etching, v.v... |
|
Đường xả nước (Drain) |
20A, chất liệu PVC |
|
Chứng nhận |
SEMI S2 |
Ứng dụng chính
Xử lý khí thải độc hại phát sinh từ các quy trình CVD, Etching trong sản xuất bán dẫn.
Đảm bảo an toàn cho nhà máy (FAB) và tuân thủ các tiêu chuẩn an toàn môi trường quốc tế.